真空鍍膜機廠家真空鍍膜設備鍍膜機的設計及改造
真空鍍膜機廠家真空鍍膜設備鍍膜室采用立式前開門結構，內腔尺寸：800 mm(直徑)×800 mm(長)，外壁通冷卻水。鍍膜機采用分子泵抽氣，減少了返油污染，結合力好，無斑點;安裝了分別使用30 kW 中頻濺射電源和3 kW 多弧電源的非平衡磁控濺射圓柱對靶和多弧圓柱靶;工件夾具采用往復式鼠籠式工件籃，無需掛具，裝件量大，可鍍制六面體結構的工件；偏壓電源使用10 kW直流脈沖電源，可通過調節(jié)功率和占空比改變鍍膜工藝，提高膜層的附著力;電控采用PLC+ 觸摸屏控制系統(tǒng)，整個系統(tǒng)具有泵閥互鎖、防爆、互保護功能可實現(xiàn)全自動真空鍍膜。圖1是鍍膜機結構原理示意圖。
真空鍍膜機廠家真空鍍膜設備鼠籠式往復擺線工件籃的結構
真空鍍膜機廠家真空鍍膜設備真空鍍膜在取代電鍍時面臨的最大挑戰(zhàn)是膜層制備的繞射性。由于真空鍍膜是在真空中完成薄膜的制備，膜層的沉積為平行于蒸發(fā)源，工件必須面對蒸發(fā)源，多采用掛件結構，垂直面的沉積速率即使在繞射性較好的磁控濺射也僅為平行于蒸發(fā)源的平面沉積速率的五分之一。此，真空鍍膜多適用于平面較多的工件或圓形工件，不能用于結構復雜的工件，這些都大大限制了真空鍍膜替代水電鍍的應用，減慢了綠色環(huán)保的真空鍍膜應用的步伐。對于緊固件這種六個面都需要鍍膜的工件，通常使用的真空鍍膜夾、卡、掛會使工件表面出現(xiàn)未鍍膜的盲點，形成酸堿和水汽及氧分子的侵蝕點，形成的侵蝕點會加劇緊固件的腐蝕，因此無法采用真空鍍膜常用的夾、卡、掛等方式固定工件。
為了解決這一難題，本項目研究設計了獨特的鼠籠式工件籃，把螺釘螺栓等緊固件裝在工件籃內，籃內布有翻轉擋板，當鼠籠工件籃擺線往復運動時，緊固件翻轉，形成新的面對沉積源的面，多層不停的翻轉，從而實現(xiàn)對緊固件每個面均勻鍍膜。圖2 和圖3 分別是工件藍和工件藍擺線動作示意圖。
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